接触孔刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310630330.4

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN103681477A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

李程吴敏杨渝书

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

竺路玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581674853 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013106303304 申请日:20131129
2017-03-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101747579378 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013106303304 申请公布日:20140326
2014-03-26	公开	公开

共 50 条

[1]

接触孔和接触孔的刻蚀方法 [P].

王新鹏 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102097359A ,2011-06-15

[2]

接触孔的刻蚀方法 [P].

张文文 ;

丁佳 ;

王玉新 ;

陈志远 ;

张淑婷 .

中国专利 :CN118156220A ,2024-06-07

[3]

接触孔的刻蚀方法 [P].

吴敏 ;

杨渝书 ;

李程 .

中国专利 :CN103400799B ,2013-11-20

[4]

接触孔刻蚀方法 [P].

陈广龙 ;

张可钢 ;

陈昊瑜 .

中国专利 :CN102810463B ,2012-12-05

[5]

接触孔的刻蚀方法及接触孔刻蚀结构 [P].

刘俊 .

中国专利 :CN111653476A ,2020-09-11

[6]

扩大接触孔刻蚀工艺窗口的方法 [P].

卓红标 ;

刘春玲 .

中国专利 :CN115662947A ,2023-01-31

[7]

接触孔的刻蚀方法 [P].

王民涛 ;

李杰 ;

汪德文 ;

魏国栋 ;

刘玮 ;

杨坤进 .

中国专利 :CN103050438A ,2013-04-17

[8]

改善接触孔过刻蚀的方法 [P].

张方方 ;

贺可强 ;

张磊 ;

陈昊瑜 .

中国专利 :CN115000008A ,2022-09-02

[9]

改善接触孔过刻蚀的方法 [P].

张方方 ;

贺可强 ;

张磊 ;

陈昊瑜 .

中国专利 :CN115000008B ,2025-07-18

[10]

一种自对准接触孔刻蚀工艺方法 [P].

李俊杰 ;

李春龙 ;

李俊峰 ;

王文武 ;

洪培真 .

中国专利 :CN104465493A ,2015-03-25

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