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制造大规模集成电路的处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN98101758.4
申请日：
1998-05-04
公开(公告)号：
CN1198589A
公开(公告)日：
1998-11-11
发明(设计)人：
上杉文彦
伊藤奈津子
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L2170
IPC分类号：
H01L2182
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：
穆德骏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1998-11-11 | 公开 | 公开 |
| 2003-02-05 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 1998-09-30 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |