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半导体外延片圆柱销式真空夹持装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201520276472.X
申请日：
2015-05-04
公开(公告)号：
CN204632739U
公开(公告)日：
2015-09-09
发明(设计)人：
何景瓷
申请人：
申请人地址：
332005 江西省九江市庐山区十里大道1188号九江职业技术学院信息工程学院
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-09-09 | 授权 | 授权 |
| 2017-06-27 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101729958647 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL201520276472X 申请日:20150504 授权公告日:20150909 终止日期:20160504 |