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一种半导体外延片检测用夹持装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322597220.4
申请日：
2023-09-25
公开(公告)号：
CN220963291U
公开(公告)日：
2024-05-14
发明(设计)人：
邓斌
申请人：
四川雅吉芯电子科技有限公司
申请人地址：
625000 四川省雅安市经开区园区大道创业孵化园单层厂房11栋
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
成都乐易联创专利代理有限公司 51269
代理人：
白小明
法律状态：
授权
国省代码：
四川省
雅安市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-14 | 授权 | 授权 |