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硅片反射率测量方法及其测量装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201910791330.X
申请日
:
2019-08-26
公开(公告)号
:
CN110514627A
公开(公告)日
:
2019-11-29
发明(设计)人
:
陈全胜
唐旱波
刘尧平
王燕
杜小龙
申请人
:
申请人地址
:
523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
IPC主分类号
:
G01N2155
IPC分类号
:
代理机构
:
深圳市千纳专利代理有限公司 44218
代理人
:
刘晓敏
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-12-24
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/55 申请日:20190826
2019-11-29
公开
公开
共 50 条
[1]
硅片反射率测量方法及其测量装置
[P].
陈全胜
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
松山湖材料实验室
松山湖材料实验室
陈全胜
;
唐旱波
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
松山湖材料实验室
松山湖材料实验室
唐旱波
;
刘尧平
论文数:
0
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0
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0
机构:
松山湖材料实验室
松山湖材料实验室
刘尧平
;
王燕
论文数:
0
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0
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0
机构:
松山湖材料实验室
松山湖材料实验室
王燕
;
杜小龙
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
松山湖材料实验室
松山湖材料实验室
杜小龙
.
中国专利
:CN110514627B
,2024-06-07
[2]
硅片反射率测量装置
[P].
陈全胜
论文数:
0
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0
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陈全胜
;
唐旱波
论文数:
0
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0
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唐旱波
;
刘尧平
论文数:
0
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0
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刘尧平
;
王燕
论文数:
0
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0
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0
王燕
;
杜小龙
论文数:
0
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0
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0
杜小龙
.
中国专利
:CN211179528U
,2020-08-04
[3]
反射率测量装置
[P].
张立功
论文数:
0
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0
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张立功
;
李颜涛
论文数:
0
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李颜涛
;
骆永石
论文数:
0
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0
骆永石
.
中国专利
:CN112986190A
,2021-06-18
[4]
光学元件高反射率测量系统和测量方法
[P].
邵建达
论文数:
0
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邵建达
;
刘世杰
论文数:
0
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刘世杰
;
王圣浩
论文数:
0
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0
王圣浩
.
中国专利
:CN109100330A
,2018-12-28
[5]
反射镜反射率的测量方法
[P].
许洪刚
论文数:
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许洪刚
;
马洪涛
论文数:
0
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马洪涛
;
韩冰
论文数:
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韩冰
;
金辉
论文数:
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0
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0
金辉
.
中国专利
:CN112834462A
,2021-05-25
[6]
一种反射率综合测量方法
[P].
李斌成
论文数:
0
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李斌成
;
曲哲超
论文数:
0
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0
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曲哲超
;
韩艳玲
论文数:
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0
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韩艳玲
.
中国专利
:CN102169050B
,2011-08-31
[7]
一种反射率测量装置及测量方法
[P].
徐天熠
论文数:
0
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0
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机构:
徐天熠
徐天熠
徐天熠
.
中国专利
:CN120908144A
,2025-11-07
[8]
海底底质反射率测量装置及测量方法
[P].
许占堂
论文数:
0
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0
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许占堂
;
赵俊
论文数:
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赵俊
;
杨跃忠
论文数:
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杨跃忠
;
李彩
论文数:
0
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李彩
;
周雯
论文数:
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0
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周雯
;
曾凯
论文数:
0
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曾凯
;
曹文熙
论文数:
0
引用数:
0
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曹文熙
.
中国专利
:CN108458993A
,2018-08-28
[9]
一种反射率测量调试装置、方法及反射率测量方法
[P].
姜博宇
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京创思工贸有限公司
北京创思工贸有限公司
姜博宇
.
中国专利
:CN109612968B
,2024-07-26
[10]
一种反射率测量调试装置、方法及反射率测量方法
[P].
姜博宇
论文数:
0
引用数:
0
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0
姜博宇
.
中国专利
:CN109612968A
,2019-04-12
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