硅片反射率测量方法及其测量装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910791330.X
申请日
2019-08-26
公开(公告)号
CN110514627A
公开(公告)日
2019-11-29
发明(设计)人
陈全胜 唐旱波 刘尧平 王燕 杜小龙
申请人
申请人地址
523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
IPC主分类号
G01N2155
IPC分类号
代理机构
深圳市千纳专利代理有限公司 44218
代理人
刘晓敏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
硅片反射率测量方法及其测量装置 [P]. 
陈全胜 ;
唐旱波 ;
刘尧平 ;
王燕 ;
杜小龙 .
中国专利 :CN110514627B ,2024-06-07
[2]
硅片反射率测量装置 [P]. 
陈全胜 ;
唐旱波 ;
刘尧平 ;
王燕 ;
杜小龙 .
中国专利 :CN211179528U ,2020-08-04
[3]
反射率测量装置 [P]. 
张立功 ;
李颜涛 ;
骆永石 .
中国专利 :CN112986190A ,2021-06-18
[4]
光学元件高反射率测量系统和测量方法 [P]. 
邵建达 ;
刘世杰 ;
王圣浩 .
中国专利 :CN109100330A ,2018-12-28
[5]
反射镜反射率的测量方法 [P]. 
许洪刚 ;
马洪涛 ;
韩冰 ;
金辉 .
中国专利 :CN112834462A ,2021-05-25
[6]
一种反射率综合测量方法 [P]. 
李斌成 ;
曲哲超 ;
韩艳玲 .
中国专利 :CN102169050B ,2011-08-31
[7]
一种反射率测量装置及测量方法 [P]. 
徐天熠 .
中国专利 :CN120908144A ,2025-11-07
[8]
海底底质反射率测量装置及测量方法 [P]. 
许占堂 ;
赵俊 ;
杨跃忠 ;
李彩 ;
周雯 ;
曾凯 ;
曹文熙 .
中国专利 :CN108458993A ,2018-08-28
[9]
一种反射率测量调试装置、方法及反射率测量方法 [P]. 
姜博宇 .
中国专利 :CN109612968B ,2024-07-26
[10]
一种反射率测量调试装置、方法及反射率测量方法 [P]. 
姜博宇 .
中国专利 :CN109612968A ,2019-04-12