用于真空磁控溅射的低含金量玫瑰金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210117559.3

申请日：

2012-04-20

公开(公告)号：

CN102703751B

公开(公告)日：

2012-10-03

发明(设计)人：

赵宏达刘革于志凯

申请人：

申请人地址：

110015 辽宁省沈阳市和平区文化东路89号

IPC主分类号：

C22C502

IPC分类号：

C22C103 C23C1435

代理机构：

沈阳东大专利代理有限公司 21109

代理人：

李在川

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-21	授权	授权
2012-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101353327910 IPC(主分类):C22C 5/02 专利申请号:2012101175593 申请日:20120420
2012-10-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 [P].

刘革 .

中国专利 :CN101358331A ,2009-02-04

[2]

一种用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

刘革 ;

于志凯 .

中国专利 :CN103938174A ,2014-07-23

[3]

一种用于真空磁控溅射的金铜合金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

刘革 ;

常占河 ;

于志凯 .

中国专利 :CN111188010A ,2020-05-22

[4]

一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法 [P].

刘革 .

中国专利 :CN101949005A ,2011-01-19

[5]

一种用于真空磁控溅射的铝银合金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

刘革 ;

常占河 ;

柳泉 ;

于志凯 .

中国专利 :CN109989045B ,2019-07-09

[6]

一种用于真空磁控溅射铂铑合金靶材及其制备方法 [P].

刘革 ;

赵宏达 ;

于志凯 ;

王伟 ;

柳泉 .

中国专利 :CN104894525A ,2015-09-09

[7]

一种用于真空磁控溅射类纯金色金合金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

柳泉 ;

常占河 ;

刘革 ;

于志凯 .

中国专利 :CN108754211A ,2018-11-06

[8]

用于真空磁控溅射银基合金靶材坯料及其制备方法和应用 [P].

张勤 ;

杨洪英 ;

张德胜 ;

夏军 ;

金哲男 ;

佟琳琳 ;

陈国宝 ;

肖发新 ;

刘子龙 ;

吕建芳 .

中国专利 :CN106947879A ,2017-07-14

[9]

抗变色玫瑰金靶材及其制备方法 [P].

朱振华 ;

黄涛 .

中国专利 :CN104032273A ,2014-09-10

[10]

真空磁控溅射的旋转靶装置 [P].

廖荣新 ;

黄进高 ;

禤瑞彬 .

中国专利 :CN202181345U ,2012-04-04

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