一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010296317.6

申请日：

2010-09-29

公开(公告)号：

CN101949005A

公开(公告)日：

2011-01-19

发明(设计)人：

刘革

申请人：

申请人地址：

110015 辽宁省沈阳市沈河区文化东路89号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C22C102

代理机构：

沈阳东大专利代理有限公司 21109

代理人：

梁焱

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-19	公开	公开
2011-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101056901090 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2010102963176 申请日:20100929
2012-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 [P].

刘革 .

中国专利 :CN101358331A ,2009-02-04

[2]

用于真空磁控溅射的低含金量玫瑰金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

刘革 ;

于志凯 .

中国专利 :CN102703751B ,2012-10-03

[3]

一种用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

刘革 ;

于志凯 .

中国专利 :CN103938174A ,2014-07-23

[4]

一种用于真空磁控溅射的金铜合金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

刘革 ;

常占河 ;

于志凯 .

中国专利 :CN111188010A ,2020-05-22

[5]

一种用于真空磁控溅射类纯金色金合金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

柳泉 ;

常占河 ;

刘革 ;

于志凯 .

中国专利 :CN108754211A ,2018-11-06

[6]

一种用于真空磁控溅射铂铑合金靶材及其制备方法 [P].

刘革 ;

赵宏达 ;

于志凯 ;

王伟 ;

柳泉 .

中国专利 :CN104894525A ,2015-09-09

[7]

一种用于真空磁控溅射的铝银合金靶材及其制备方法 [P].

赵宏达 ;

刘革 ;

常占河 ;

柳泉 ;

于志凯 .

中国专利 :CN109989045B ,2019-07-09

[8]

用于真空磁控溅射银基合金靶材坯料及其制备方法和应用 [P].

张勤 ;

杨洪英 ;

张德胜 ;

夏军 ;

金哲男 ;

佟琳琳 ;

陈国宝 ;

肖发新 ;

刘子龙 ;

吕建芳 .

中国专利 :CN106947879A ,2017-07-14

[9]

一种金属靶材真空磁控溅射用焊接装置 [P].

曹兴民 .

中国专利 :CN217493129U ,2022-09-27

[10]

一种金属靶材真空磁控溅射镀镍及焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

廖培君 .

中国专利 :CN111203606A ,2020-05-29

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