形成器件下互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480008705.6

申请日：

2014-03-13

公开(公告)号：

CN105190875B

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

P·莫罗 D·尼尔森 M·C·韦伯 K·俊 I-S·孙

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚

IPC主分类号：

H01L2348

IPC分类号：

H01L2312

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

王英;陈松涛

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 23/48 申请日:20140313 授权公告日:20191217 终止日期:20210313
2015-12-23	公开	公开
2016-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101650488947 IPC(主分类):H01L 23/48 专利申请号:2014800087056 申请日:20140313
2019-12-17	授权	授权

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

卢克·比兰格尔 ;

斯蒂芬·L.·布奇沃尔特 ;

利纳·P.·布奇沃尔特 ;

阿贾伊·P.·吉利 ;

乔纳森·H·格里菲思 ;

唐纳德·W.·亨德森 ;

康圣权 ;

埃里克·H.·莱内 ;

克里斯蒂·拉沃伊 ;

鲍尔·A·劳罗 ;

瓦莱里·A.·奥伯森 ;

史达原 ;

卡马列什·K.·斯里瓦斯塔瓦 ;

迈克尔·J.·萨利文 .

中国专利 :CN101211878B ,2008-07-02

[2]

互连结构用于生产该互连结构的方法 [P].

G·乌斯特灰斯 ;

H·H·马尔德林克 ;

A·瑞吉菲尔斯 ;

R·J·胡本 ;

C·M·B·范德索恩 ;

L·A·M·布劳沃斯 .

中国专利 :CN103328189A ,2013-09-25

[3]

互连结构 [P].

德巴布拉塔·吉普塔 ;

桥本夕纪夫 ;

伊利亚斯·默罕默德 ;

劳拉·米尔卡瑞米 ;

拉杰什·卡特卡 .

中国专利 :CN103354951B ,2013-10-16

[4]

用于微电子器件的互连结构 [P].

K.赖因鲁贝尔 ;

A.沃尔特 ;

G.赛德曼 ;

T.瓦格纳 ;

B.魏德哈斯 .

中国专利 :CN109643708A ,2019-04-16

[5]

全局互连结构加工方法 [P].

吕华 .

中国专利 :CN104637869A ,2015-05-20

[6]

全局互连结构加工方法 [P].

张淑芬 .

中国专利 :CN107958870A ,2018-04-24

[7]

形成晶圆级多管芯系统网络互连结构的方法 [P].

D·马利克 ;

R·维斯瓦纳思 ;

X·布伦 .

美国专利 :CN121241439A ,2025-12-30

[8]

基于玻璃基板的互连结构及方法 [P].

姜峰 ;

李昭强 .

中国专利 :CN103904054A ,2014-07-02

[9]

硅通孔互连结构的制备方法 [P].

万青 ;

马雨晞 ;

朱一新 ;

郭欣仪 .

中国专利 :CN119694980A ,2025-03-25

[10]

解除键合互连结构 [P].

Q·马 ;

J·何 ;

P·莫罗 ;

P·B·菲舍尔 ;

S·巴拉克夏南 ;

S·拉达克里希南 ;

T·T·安徳留先科夫 ;

G·许 .

中国专利 :CN102835194A ,2012-12-19

← 1 2 3 4 5 →