全局互连结构加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410744213.5

申请日：

2014-12-09

公开(公告)号：

CN104637869A

公开(公告)日：

2015-05-20

发明(设计)人：

吕华

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区科技二路西安软件园汉韵阁B303

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

西安亿诺专利代理有限公司 61220

代理人：

康凯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-20	公开	公开
2018-07-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20150520

共 50 条

[1]

全局互连结构加工方法 [P].

张淑芬 .

中国专利 :CN107958870A ,2018-04-24

[2]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104078415A ,2014-10-01

[3]

形成互连结构的方法 [P].

V·普拉亚斯 ;

周俭 ;

K·欧哈马 .

美国专利 :CN119816937A ,2025-04-11

[4]

互连结构用于生产该互连结构的方法 [P].

G·乌斯特灰斯 ;

H·H·马尔德林克 ;

A·瑞吉菲尔斯 ;

R·J·胡本 ;

C·M·B·范德索恩 ;

L·A·M·布劳沃斯 .

中国专利 :CN103328189A ,2013-09-25

[5]

互连结构 [P].

德巴布拉塔·吉普塔 ;

桥本夕纪夫 ;

伊利亚斯·默罕默德 ;

劳拉·米尔卡瑞米 ;

拉杰什·卡特卡 .

中国专利 :CN103354951B ,2013-10-16

[6]

制造互连结构的方法及由其制造的互连结构 [P].

克里斯托·D.·迪米特拉克普洛斯 ;

斯蒂芬·M.·盖茨 ;

文森特·J.·麦克加哈 ;

桑佳·C.·梅塔 .

中国专利 :CN1832128A ,2006-09-13

[7]

互连结构的形成方法 [P].

聂佳相 ;

刘盛 ;

杨瑞鹏 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102054750A ,2011-05-11

[8]

互连结构的形成方法 [P].

孙武 ;

尹晓明 ;

张海洋 ;

黄怡 .

中国专利 :CN102142393A ,2011-08-03

[9]

降低铜互连结构中铜的电迁移的方法及铜互连结构 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102214600A ,2011-10-12

[10]

互连结构及其制备方法 [P].

平延磊 ;

李天慧 ;

马强 .

中国专利 :CN111192851A ,2020-05-22

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