单片式晶圆清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821975263.4

申请日：

2018-11-28

公开(公告)号：

CN209216932U

公开(公告)日：

2019-08-06

发明(设计)人：

李欣越

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

单片式晶圆清洗设备及清洗干燥方法 [P].

李欣越 .

中国专利 :CN111243979A ,2020-06-05

[2]

一种单片式晶圆清洗设备 [P].

殷泽安 ;

殷志鹏 .

中国专利 :CN218282876U ,2023-01-13

[3]

单片式晶圆清洗装置 [P].

徐进 ;

张晓艳 ;

吴勇 ;

蔡爱军 .

中国专利 :CN222530382U ,2025-02-25

[4]

一种晶圆单片清洗装置及方法 [P].

陈良 ;

吴求 .

中国专利 :CN114999962A ,2022-09-02

[5]

一种晶圆单片清洗装置及方法 [P].

陈良 ;

吴求 .

中国专利 :CN114999962B ,2024-11-12

[6]

一种单片式晶圆清洗装置 [P].

刘枫 ;

刘二壮 ;

黄允文 ;

刘涛 ;

蔡斌 .

中国专利 :CN114453321A ,2022-05-10

[7]

一种晶圆清洗设备 [P].

陈新来 ;

邓信甫 ;

唐宝国 ;

卢证凯 .

中国专利 :CN217121195U ,2022-08-05

[8]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

丁明正 .

中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15

[9]

晶圆清洗设备 [P].

姚一现 .

中国专利 :CN221304588U ,2024-07-09

[10]

晶圆清洗设备 [P].

崔亚东 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208954954U ,2019-06-07

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