单片式晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420426576.3

申请日：

2024-03-06

公开(公告)号：

CN222530382U

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

徐进张晓艳吴勇蔡爱军

申请人：

上海晶盟硅材料有限公司

申请人地址：

201707 上海市青浦区北青公路8228号二区48号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B3/02 B08B13/00

代理机构：

北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265

代理人：

程武红

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

单片式晶圆清洗设备 [P].

李欣越 .

中国专利 :CN209216932U ,2019-08-06

[2]

晶圆单片清洗装置 [P].

张小永 ;

刘哲伟 ;

张宝庆 .

中国专利 :CN211265423U ,2020-08-14

[3]

一种单片式晶圆清洗装置 [P].

刘枫 ;

刘二壮 ;

黄允文 ;

刘涛 ;

蔡斌 .

中国专利 :CN114453321A ,2022-05-10

[4]

一种单片式晶圆清洗装置 [P].

刘国强 ;

蔡超 .

中国专利 :CN114613702A ,2022-06-10

[5]

一种单片式晶圆清洗装置 [P].

黄允文 ;

刘二壮 ;

刘枫 ;

刘涛 ;

蔡斌 ;

罗银夫 .

中国专利 :CN114512427A ,2022-05-17

[6]

一种单片式晶圆清洗装置 [P].

孟庆璋 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN114378031A ,2022-04-22

[7]

一种用于单片式晶圆的清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

刘青松 .

中国专利 :CN214600650U ,2021-11-05

[8]

一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构 [P].

徐竹林 .

中国专利 :CN218424375U ,2023-02-03

[9]

一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构 [P].

仇建明 ;

仲明飞 .

中国专利 :CN221361450U ,2024-07-19

[10]

单片式晶圆清洗设备及清洗干燥方法 [P].

李欣越 .

中国专利 :CN111243979A ,2020-06-05

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