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一种用于单片式晶圆的清洗装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120373110.8
申请日：
2021-02-10
公开(公告)号：
CN214600650U
公开(公告)日：
2021-11-05
发明(设计)人：
钱诚 李刚 刘青松
申请人：
申请人地址：
225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B1300 H01L2167
代理机构：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317
代理人：
陈平
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-05 授权 授权
共 50 条
[1]
一种用于单片式晶圆的清洗装置 [P]. 
钱诚 ;
李刚 ;
刘青松 .
中国专利 :CN113020059A ,2021-06-25
[2]
单片式晶圆清洗装置 [P]. 
徐进 ;
张晓艳 ;
吴勇 ;
蔡爱军 .
中国专利 :CN222530382U ,2025-02-25
[3]
一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构 [P]. 
徐竹林 .
中国专利 :CN218424375U ,2023-02-03
[4]
单片式晶圆清洗设备 [P]. 
李欣越 .
中国专利 :CN209216932U ,2019-08-06
[5]
一种单片式晶圆清洗装置 [P]. 
刘枫 ;
刘二壮 ;
黄允文 ;
刘涛 ;
蔡斌 .
中国专利 :CN114453321A ,2022-05-10
[6]
一种单片式晶圆清洗装置 [P]. 
刘国强 ;
蔡超 .
中国专利 :CN114613702A ,2022-06-10
[7]
一种单片式晶圆清洗装置 [P]. 
黄允文 ;
刘二壮 ;
刘枫 ;
刘涛 ;
蔡斌 ;
罗银夫 .
中国专利 :CN114512427A ,2022-05-17
[8]
一种单片式晶圆清洗装置 [P]. 
孟庆璋 ;
邓信甫 ;
刘大威 ;
陈丁堃 .
中国专利 :CN114378031A ,2022-04-22
[9]
一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构 [P]. 
仇建明 ;
仲明飞 .
中国专利 :CN221361450U ,2024-07-19
[10]
一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构 [P]. 
徐竹林 .
中国专利 :CN218424373U ,2023-02-03
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