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一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322723127.3
申请日：
2023-10-11
公开(公告)号：
CN221361450U
公开(公告)日：
2024-07-19
发明(设计)人：
仇建明
仲明飞
申请人：
湖北省嘉创半导体有限公司
申请人地址：
437000 湖北省咸宁市嘉鱼县鱼岳镇东湖学院对面（自主申报）
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
B08B1/16
B08B1/30
B08B3/14
B08B11/00
B08B13/00
H01L21/67
代理机构：
北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514
代理人：
袁克来
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-19 | 授权 | 授权 |