晶圆单片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020228185.2

申请日：

2020-02-28

公开(公告)号：

CN211265423U

公开(公告)日：

2020-08-14

发明(设计)人：

张小永刘哲伟张宝庆

申请人：

申请人地址：

100031 北京市西城区旧鼓楼大街47号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

谭云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-14	授权	授权
2022-12-13	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:北京市塑料研究所变更后:北京市塑料研究所有限公司变更事项:地址变更前:100031 北京市西城区旧鼓楼大街47号变更后:100031 北京市西城区旧鼓楼大街47号

共 50 条

[1]

单片式晶圆清洗装置 [P].

徐进 ;

张晓艳 ;

吴勇 ;

蔡爱军 .

中国专利 :CN222530382U ,2025-02-25

[2]

单片式晶圆清洗设备 [P].

李欣越 .

中国专利 :CN209216932U ,2019-08-06

[3]

一种晶圆单片清洗花篮 [P].

李松松 ;

成飞 .

中国专利 :CN213716856U ,2021-07-16

[4]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

韦俊丞 ;

李俊 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220553429U ,2024-03-01

[5]

一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构 [P].

仇建明 ;

仲明飞 .

中国专利 :CN221361450U ,2024-07-19

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203803846U ,2014-09-03

[8]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[9]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[10]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202698196U ,2013-01-30

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