晶圆寻边装置及晶圆刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920424554.2

申请日：

2019-03-29

公开(公告)号：

CN209496830U

公开(公告)日：

2019-10-15

发明(设计)人：

马风柱栾剑峰刘家桦叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆寻边装置 [P].

雷剑锋 ;

刘钦源 ;

郑少宇 ;

刘悦 .

中国专利 :CN221008925U ,2024-05-24

[2]

晶圆刻蚀设备 [P].

周永平 ;

宋冬门 .

中国专利 :CN212570932U ,2021-02-19

[3]

晶圆刻蚀设备 [P].

熊峰 ;

豆海清 .

中国专利 :CN216015306U ,2022-03-11

[4]

晶圆刻蚀设备 [P].

刘洪浩 ;

张文福 ;

高英哲 .

中国专利 :CN208753278U ,2019-04-16

[5]

刻蚀辅助装置、晶圆刻蚀设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN210272277U ,2020-04-07

[6]

晶圆承载装置及刻蚀设备 [P].

周颖 ;

李明 ;

刘隆冬 .

中国专利 :CN212485291U ,2021-02-05

[7]

晶圆刻蚀设备 [P].

王兆丰 ;

范雄 ;

王世宽 ;

翟深圳 .

中国专利 :CN117238744B ,2024-03-01

[8]

晶圆去边设备及去边晶圆 [P].

郭茂峰 ;

熊展 ;

江善波 ;

陶胜 ;

李士涛 ;

马新刚 ;

毕京锋 .

中国专利 :CN215771081U ,2022-02-08

[9]

一种晶圆刻蚀设备及晶圆刻蚀方法 [P].

刘希飞 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN109473378A ,2019-03-15

[10]

晶圆寻边定位装置及蚀刻机台 [P].

林塘棋 ;

范俊一 .

中国专利 :CN202434487U ,2012-09-12

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