半导体制造装置的晶片舟皿用旋转件

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201630361335.6

申请日：

2016-08-01

公开(公告)号：

CN304045725S

公开(公告)日：

2017-02-15

发明(设计)人：

山口天和野上孝志

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移主分类号:15-99 登记生效日:20181207 变更事项:专利权人变更前权利人:株式会社日立国际电气变更后权利人:株式会社国际电气变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都
2017-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302895772S ,2014-07-30

[2]

半导体制造装置用舟皿 [P].

三好秀幸 ;

三部诚 .

中国专利 :CN304473451S ,2018-01-23

[3]

半导体制造装置用舟皿 [P].

三好秀幸 ;

三部诚 .

中国专利 :CN304473450S ,2018-01-23

[4]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302895774S ,2014-07-30

[5]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302895773S ,2014-07-30

[6]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302703848S ,2014-01-01

[7]

用于半导体制造装置的舟皿 [P].

竹林雄二 ;

斋藤达之 ;

山本哲夫 ;

加藤努 ;

冈田格 .

中国专利 :CN301672405S ,2011-09-14

[8]

用于半导体制造装置的舟皿 [P].

竹林雄二 ;

斋藤达之 ;

山本哲夫 ;

加藤努 ;

冈田格 .

中国专利 :CN301634039S ,2011-08-03

[9]

半导体制造装置以及半导体晶片支架 [P].

东真也 ;

佐藤慎哉 ;

佐久间智教 ;

大泽明彦 ;

小林浩秋 ;

山崎修 ;

西村博司 .

中国专利 :CN104064490A ,2014-09-24

[10]

晶片托、半导体制造装置及半导体装置的制造方法 [P].

武田直幸 ;

田中博司 .

中国专利 :CN115346908A ,2022-11-15

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