半导体制造装置用舟皿

被引:0
专利类型
外观设计
申请号
CN201330290264.1
申请日
2013-06-25
公开(公告)号
CN302703848S
公开(公告)日
2014-01-01
发明(设计)人
吉田秀成 谷山智志
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
1599
IPC分类号
代理机构
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
陈伟;金杨
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体制造装置用舟皿 [P]. 
吉田秀成 ;
谷山智志 .
中国专利 :CN302895772S ,2014-07-30
[2]
半导体制造装置用舟皿 [P]. 
三好秀幸 ;
三部诚 .
中国专利 :CN304473451S ,2018-01-23
[3]
半导体制造装置用舟皿 [P]. 
三好秀幸 ;
三部诚 .
中国专利 :CN304473450S ,2018-01-23
[4]
半导体制造装置用舟皿 [P]. 
吉田秀成 ;
谷山智志 .
中国专利 :CN302895774S ,2014-07-30
[5]
半导体制造装置用舟皿 [P]. 
吉田秀成 ;
谷山智志 .
中国专利 :CN302895773S ,2014-07-30
[6]
用于半导体制造装置的舟皿 [P]. 
竹林雄二 ;
斋藤达之 ;
山本哲夫 ;
加藤努 ;
冈田格 .
中国专利 :CN301672405S ,2011-09-14
[7]
用于半导体制造装置的舟皿 [P]. 
竹林雄二 ;
斋藤达之 ;
山本哲夫 ;
加藤努 ;
冈田格 .
中国专利 :CN301634039S ,2011-08-03
[8]
半导体制造装置的晶片舟皿用旋转件 [P]. 
山口天和 ;
野上孝志 .
中国专利 :CN304045725S ,2017-02-15
[9]
半导体制造装置和半导体制造方法 [P]. 
森田朋岳 .
中国专利 :CN101202240A ,2008-06-18
[10]
半导体制造装置 [P]. 
桥本隆宏 .
中国专利 :CN1233026C ,2004-03-24