用于半导体制造装置的舟皿

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201030597437.0

申请日：

2010-10-29

公开(公告)号：

CN301634039S

公开(公告)日：

2011-08-03

发明(设计)人：

竹林雄二斋藤达之山本哲夫加藤努冈田格

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

苏娟

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101692968623 主分类号:15-99 专利号:ZL2010305974370 申请日:20101029 授权公告日:20110803 终止日期:20151029
2011-08-03	授权	授权

共 50 条

[1]

用于半导体制造装置的舟皿 [P].

竹林雄二 ;

斋藤达之 ;

山本哲夫 ;

加藤努 ;

冈田格 .

中国专利 :CN301672405S ,2011-09-14

[2]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302895772S ,2014-07-30

[3]

半导体制造装置用舟皿 [P].

三好秀幸 ;

三部诚 .

中国专利 :CN304473451S ,2018-01-23

[4]

半导体制造装置用舟皿 [P].

三好秀幸 ;

三部诚 .

中国专利 :CN304473450S ,2018-01-23

[5]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302895774S ,2014-07-30

[6]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302895773S ,2014-07-30

[7]

半导体制造装置用舟皿 [P].

吉田秀成 ;

谷山智志 .

中国专利 :CN302703848S ,2014-01-01

[8]

半导体制造装置的晶片舟皿用旋转件 [P].

山口天和 ;

野上孝志 .

中国专利 :CN304045725S ,2017-02-15

[9]

半导体制造装置和半导体制造方法 [P].

森田朋岳 .

中国专利 :CN101202240A ,2008-06-18

[10]

半导体制造装置 [P].

桥本隆宏 .

中国专利 :CN1233026C ,2004-03-24

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