基于多能场耦合的复合式阳极键合系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320673604.3

申请日：

2013-10-29

公开(公告)号：

CN203612946U

公开(公告)日：

2014-05-28

发明(设计)人：

潘明强孙立宁王阳俊刘吉柱陈涛陈立国汝长海王振华

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号

IPC主分类号：

B81C300

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

常亮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-28	授权	授权
2017-12-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 3/00 申请日:20131029 授权公告日:20140528 终止日期:20161029

共 50 条

[1]

基于多能场耦合的复合式阳极键合系统及方法 [P].

潘明强 ;

孙立宁 ;

王阳俊 ;

刘吉柱 ;

陈涛 ;

陈立国 ;

汝长海 ;

王振华 .

中国专利 :CN103523746B ,2014-01-22

[2]

磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法 [P].

潘明强 ;

姚富荣 ;

王阳俊 ;

刘吉柱 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN108516519A ,2018-09-11

[3]

磁控介质阻挡放电阳极键合系统 [P].

潘明强 ;

姚富荣 ;

王阳俊 ;

刘吉柱 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN208292656U ,2018-12-28

[4]

复合阳极键合装置 [P].

潘明强 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN207918426U ,2018-09-28

[5]

复合阳极键合方法 [P].

潘明强 ;

陈涛 ;

刘吉柱 ;

陈立国 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN102659071B ,2012-09-12

[6]

基于阳极键合的温度压力复合传感器 [P].

李威 ;

段红军 ;

李瑞清 ;

郭亦兵 ;

汪超 ;

熊盼 .

中国专利 :CN103852104B ,2014-06-11

[7]

纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法 [P].

潘明强 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN108383080A ,2018-08-10

[8]

一种超声辅助阳极键合方法及其超声辅助阳极键合系统 [P].

刘翠荣 ;

阴旭 ;

赵为刚 ;

孟员员 ;

张丽佛 ;

陈霞 .

中国专利 :CN111217325A ,2020-06-02

[9]

一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法 [P].

张文庆 ;

杨云春 .

中国专利 :CN118712106A ,2024-09-27

[10]

一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法 [P].

张文庆 ;

杨云春 .

中国专利 :CN118712106B ,2024-11-26

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