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磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810627876.7
申请日：
2018-06-19
公开(公告)号：
CN108516519A
公开(公告)日：
2018-09-11
发明(设计)人：
潘明强 姚富荣 王阳俊 刘吉柱 孙立宁
申请人：
申请人地址：
215104 江苏省苏州市相城区济学路8号
IPC主分类号：
B81B702
IPC分类号：
B81C100
代理机构：
苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295
代理人：
叶栋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-10-09 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20180619
2018-09-11 公开 公开
共 50 条
[1]
磁控介质阻挡放电阳极键合系统 [P]. 
潘明强 ;
姚富荣 ;
王阳俊 ;
刘吉柱 ;
孙立宁 .
中国专利 :CN208292656U ,2018-12-28
[2]
基于多能场耦合的复合式阳极键合系统及方法 [P]. 
潘明强 ;
孙立宁 ;
王阳俊 ;
刘吉柱 ;
陈涛 ;
陈立国 ;
汝长海 ;
王振华 .
中国专利 :CN103523746B ,2014-01-22
[3]
基于多能场耦合的复合式阳极键合系统 [P]. 
潘明强 ;
孙立宁 ;
王阳俊 ;
刘吉柱 ;
陈涛 ;
陈立国 ;
汝长海 ;
王振华 .
中国专利 :CN203612946U ,2014-05-28
[4]
复合阳极键合方法 [P]. 
潘明强 ;
陈涛 ;
刘吉柱 ;
陈立国 ;
孙立宁 .
中国专利 :CN102659071B ,2012-09-12
[5]
一种介质阻挡放电反应装置及介质阻挡放电水处理方法 [P]. 
韦伟 ;
周正涵 ;
朱玉龙 ;
朱曙光 ;
周栋 .
中国专利 :CN115650371A ,2023-01-31
[6]
一种介质阻挡放电反应装置及介质阻挡放电水处理方法 [P]. 
韦伟 ;
周正涵 ;
朱玉龙 ;
朱曙光 ;
周栋 .
中国专利 :CN115650371B ,2025-06-27
[7]
纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法 [P]. 
潘明强 ;
孙立宁 .
中国专利 :CN108383080A ,2018-08-10
[8]
一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法 [P]. 
张文庆 ;
杨云春 .
中国专利 :CN118712106A ,2024-09-27
[9]
一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法 [P]. 
张文庆 ;
杨云春 .
中国专利 :CN118712106B ,2024-11-26
[10]
一种阳极键合装置及阳极键合工艺 [P]. 
陈鹏远 ;
姜保彧 .
中国专利 :CN117446744A ,2024-01-26
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