一种阳极键合装置及阳极键合工艺

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311387037.X
申请日
2023-10-24
公开(公告)号
CN117446744A
公开(公告)日
2024-01-26
发明(设计)人
陈鹏远 姜保彧
申请人
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
IPC主分类号
B81C1/00
IPC分类号
代理机构
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726
代理人
李梦宁
法律状态
实质审查的生效
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
阳极键合装置 [P]. 
宋跃 ;
王贵 .
中国专利 :CN214542133U ,2021-10-29
[2]
一种阳极键合装置 [P]. 
曲绍芬 ;
段文宽 ;
高光伟 ;
辛岩 .
中国专利 :CN115662923A ,2023-01-31
[3]
一种阳极键合装置 [P]. 
甘志银 ;
张廷凯 .
中国专利 :CN101332973A ,2008-12-31
[4]
一种阳极键合装置 [P]. 
郑志霞 ;
何灏泽 ;
黄赛琴 .
中国专利 :CN207483358U ,2018-06-12
[5]
一种超声辅助阳极键合方法及其超声辅助阳极键合系统 [P]. 
刘翠荣 ;
阴旭 ;
赵为刚 ;
孟员员 ;
张丽佛 ;
陈霞 .
中国专利 :CN111217325A ,2020-06-02
[6]
一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法 [P]. 
张文庆 ;
杨云春 .
中国专利 :CN118712106A ,2024-09-27
[7]
一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法 [P]. 
张文庆 ;
杨云春 .
中国专利 :CN118712106B ,2024-11-26
[8]
复合阳极键合装置 [P]. 
潘明强 ;
孙立宁 .
中国专利 :CN207918426U ,2018-09-28
[9]
高温阳极键合装置 [P]. 
R·C·卡迪 ;
J·J·柯斯特洛三世 ;
A·拉克塔 ;
W·E·洛克 ;
J·C·托马斯 .
中国专利 :CN101495311A ,2009-07-29
[10]
一种阳极键合方法 [P]. 
王盛凯 ;
王英辉 .
中国专利 :CN111217324A ,2020-06-02