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一种阳极键合装置及阳极键合工艺
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202311387037.X
申请日
:
2023-10-24
公开(公告)号
:
CN117446744A
公开(公告)日
:
2024-01-26
发明(设计)人
:
陈鹏远
姜保彧
申请人
:
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址
:
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
IPC主分类号
:
B81C1/00
IPC分类号
:
代理机构
:
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726
代理人
:
李梦宁
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-02-13
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20231024
2024-01-26
公开
公开
共 50 条
[1]
阳极键合装置
[P].
宋跃
论文数:
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宋跃
;
王贵
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王贵
.
中国专利
:CN214542133U
,2021-10-29
[2]
一种阳极键合装置
[P].
曲绍芬
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曲绍芬
;
段文宽
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段文宽
;
高光伟
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高光伟
;
辛岩
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辛岩
.
中国专利
:CN115662923A
,2023-01-31
[3]
一种阳极键合装置
[P].
甘志银
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甘志银
;
张廷凯
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张廷凯
.
中国专利
:CN101332973A
,2008-12-31
[4]
一种阳极键合装置
[P].
郑志霞
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郑志霞
;
何灏泽
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何灏泽
;
黄赛琴
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黄赛琴
.
中国专利
:CN207483358U
,2018-06-12
[5]
一种超声辅助阳极键合方法及其超声辅助阳极键合系统
[P].
刘翠荣
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刘翠荣
;
阴旭
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阴旭
;
赵为刚
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赵为刚
;
孟员员
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孟员员
;
张丽佛
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张丽佛
;
陈霞
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陈霞
.
中国专利
:CN111217325A
,2020-06-02
[6]
一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法
[P].
张文庆
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机构:
海创智能装备(烟台)有限公司
海创智能装备(烟台)有限公司
张文庆
;
杨云春
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机构:
海创智能装备(烟台)有限公司
海创智能装备(烟台)有限公司
杨云春
.
中国专利
:CN118712106A
,2024-09-27
[7]
一种晶圆键合系统及热压键合、直接键合和阳极键合方法
[P].
张文庆
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机构:
海创智能装备(烟台)有限公司
海创智能装备(烟台)有限公司
张文庆
;
杨云春
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机构:
海创智能装备(烟台)有限公司
海创智能装备(烟台)有限公司
杨云春
.
中国专利
:CN118712106B
,2024-11-26
[8]
复合阳极键合装置
[P].
潘明强
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潘明强
;
孙立宁
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孙立宁
.
中国专利
:CN207918426U
,2018-09-28
[9]
高温阳极键合装置
[P].
R·C·卡迪
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R·C·卡迪
;
J·J·柯斯特洛三世
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J·J·柯斯特洛三世
;
A·拉克塔
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A·拉克塔
;
W·E·洛克
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W·E·洛克
;
J·C·托马斯
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J·C·托马斯
.
中国专利
:CN101495311A
,2009-07-29
[10]
一种阳极键合方法
[P].
王盛凯
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王盛凯
;
王英辉
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王英辉
.
中国专利
:CN111217324A
,2020-06-02
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