一种阳极键合装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720512308.3

申请日：

2017-05-10

公开(公告)号：

CN207483358U

公开(公告)日：

2018-06-12

发明(设计)人：

郑志霞何灏泽黄赛琴

申请人：

申请人地址：

351100 福建省莆田市城厢区学园路兴安新村36号

IPC主分类号：

B81C300

IPC分类号：

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

王玉平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-12	授权	授权
2020-05-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 3/00 申请日:20170510 授权公告日:20180612 终止日期:20190510

共 50 条

[1]

一种阳极键合设备 [P].

郑志霞 ;

何灏泽 ;

黄赛琴 .

中国专利 :CN107364828A ,2017-11-21

[2]

一种阳极键合装置及阳极键合工艺 [P].

陈鹏远 ;

姜保彧 .

中国专利 :CN117446744A ,2024-01-26

[3]

一种阳极键合方法 [P].

王盛凯 ;

王英辉 .

中国专利 :CN111217324A ,2020-06-02

[4]

一种阳极键合装置 [P].

曲绍芬 ;

段文宽 ;

高光伟 ;

辛岩 .

中国专利 :CN115662923A ,2023-01-31

[5]

一种阳极键合装置 [P].

甘志银 ;

张廷凯 .

中国专利 :CN101332973A ,2008-12-31

[6]

阳极键合装置 [P].

宋跃 ;

王贵 .

中国专利 :CN214542133U ,2021-10-29

[7]

一种超声辅助阳极键合方法及其超声辅助阳极键合系统 [P].

刘翠荣 ;

阴旭 ;

赵为刚 ;

孟员员 ;

张丽佛 ;

陈霞 .

中国专利 :CN111217325A ,2020-06-02

[8]

一种硅片的阳极键合装置及其键合方法 [P].

于见河 ;

宋义 .

中国专利 :CN117963836B ,2024-12-06

[9]

一种硅片的阳极键合装置及其键合方法 [P].

于见河 ;

宋义 .

中国专利 :CN117963836A ,2024-05-03

[10]

一种阳极键合设备 [P].

郑志霞 ;

何灏泽 ;

黄赛琴 .

中国专利 :CN113113336B ,2021-07-13

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