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一种阳极键合设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110429052.0
申请日：
2021-04-21
公开(公告)号：
CN113113336B
公开(公告)日：
2021-07-13
发明(设计)人：
郑志霞
何灏泽
黄赛琴
申请人：
申请人地址：
351100 福建省莆田市城厢区学园中街1133号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638
代理人：
徐小淇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-14 | 授权 | 授权 |
| 2021-07-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210421 |
| 2021-07-13 | 公开 | 公开 |