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一种阳极键合装置
被引：0
申请号：
CN202211426132.1
申请日：
2022-11-14
公开(公告)号：
CN115662923A
公开(公告)日：
2023-01-31
发明(设计)人：
曲绍芬
段文宽
高光伟
辛岩
申请人：
申请人地址：
110000 辽宁省沈阳市浑南区学院路1号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
大连东方专利代理有限责任公司 21212
代理人：
白贺;李洪福
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20221114 |
| 2023-01-31 | 公开 | 公开 |