共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆显影承载机构及显影机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811448401.8
申请日：
2018-11-29
公开(公告)号：
CN109254505A
公开(公告)日：
2019-01-22
发明(设计)人：
张昊
申请人：
申请人地址：
132000 吉林省吉林市高新区深圳街99号
IPC主分类号：
G03F730
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371
代理人：
王术兰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-02-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20181129 |
| 2019-01-22 | 公开 | 公开 |