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一种晶圆片显影机的定位机构

被引：0
申请号：
CN202221144781.8
申请日：
2022-05-13
公开(公告)号：
CN217425927U
公开(公告)日：
2022-09-13
发明(设计)人：
秦有贵 辛奇 胡凯 徐峰 杨军 闫乐成 秦宝宏
申请人：
申请人地址：
201314 上海市浦东新区宣桥镇宣春路182号7幢一层
IPC主分类号：
G03F730
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-09-13 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆片显影机的定位机构 [P]. 
丁波 ;
李轶 ;
陈瀚 ;
赵耀 ;
陈登奎 ;
杭海燕 .
中国专利 :CN213622224U ,2021-07-06
[2]
一种晶圆显影承载机构及显影机 [P]. 
张昊 .
中国专利 :CN208937913U ,2019-06-04
[3]
一种涂胶显影机用晶圆吸盘 [P]. 
贺武峰 ;
吴想 .
中国专利 :CN218123375U ,2022-12-23
[4]
一种涂胶显影机用晶圆吸盘 [P]. 
孙晓东 ;
闻杰 .
中国专利 :CN222546330U ,2025-02-28
[5]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
姚舜捷 .
中国专利 :CN209543039U ,2019-10-25
[6]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
马亮 .
中国专利 :CN215069914U ,2021-12-07
[7]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
孙晓琦 ;
徐龙 ;
颜石 .
中国专利 :CN118943067A ,2024-11-12
[8]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN120237078A ,2025-07-01
[9]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN120237078B ,2025-10-28
[10]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
孙晓琦 ;
徐龙 ;
颜石 .
中国专利 :CN118943067B ,2025-01-03
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