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一种晶圆片显影机的定位机构

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022655065.3
申请日：
2020-11-17
公开(公告)号：
CN213622224U
公开(公告)日：
2021-07-06
发明(设计)人：
丁波 李轶 陈瀚 赵耀 陈登奎 杭海燕
申请人：
申请人地址：
201401 上海市奉贤区南桥镇沿江路752号
IPC主分类号：
B65G4791
IPC分类号：
G03F730
代理机构：
上海远同律师事务所 31307
代理人：
张坚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-07-06 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆片显影机的定位机构 [P]. 
秦有贵 ;
辛奇 ;
胡凯 ;
徐峰 ;
杨军 ;
闫乐成 ;
秦宝宏 .
中国专利 :CN217425927U ,2022-09-13
[2]
一种晶圆显影承载机构及显影机 [P]. 
张昊 .
中国专利 :CN208937913U ,2019-06-04
[3]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
姚舜捷 .
中国专利 :CN209543039U ,2019-10-25
[4]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
马亮 .
中国专利 :CN215069914U ,2021-12-07
[5]
一种涂胶显影机的晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN223486355U ,2025-10-28
[6]
一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构 [P]. 
张军区 ;
董金良 ;
杜国强 .
中国专利 :CN218423830U ,2023-02-03
[7]
一种晶圆显影承载机构及显影机 [P]. 
张昊 .
中国专利 :CN109254505A ,2019-01-22
[8]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
刘英 .
中国专利 :CN120421189B ,2025-09-12
[9]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
孙晓琦 ;
徐龙 ;
颜石 .
中国专利 :CN118943067A ,2024-11-12
[10]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN120237078A ,2025-07-01
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