晶圆盒检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910492035.4

申请日：

2019-06-06

公开(公告)号：

CN112050720A

公开(公告)日：

2020-12-08

发明(设计)人：

布兰登·布雷中村优菊池健李秉隆

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

G01B530

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/30 申请日:20190606
2020-12-08	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆盒检测装置 [P].

布兰登·布雷 ;

中村优 ;

菊池健 ;

李秉隆 .

中国专利 :CN209840949U ,2019-12-24

[2]

颗粒检测装置、晶圆盒及颗粒检测方法 [P].

王立志 .

中国专利 :CN118243581A ,2024-06-25

[3]

晶圆检测装置及检测方法 [P].

李向东 ;

骆聪 ;

朱怡 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN115372375A ,2022-11-22

[4]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[5]

晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 [P].

苏旭文 ;

戎淇舰 ;

吕天爽 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120933184A ,2025-11-11

[6]

晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统 [P].

蔡政焜 ;

施英汝 .

中国专利 :CN109767999A ,2019-05-17

[7]

晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法 [P].

王金 ;

臧宇 ;

吴金马 .

中国专利 :CN115166848B ,2024-11-26

[8]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[9]

晶圆位置检测装置及检测方法 [P].

王坚 ;

何增华 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN102867765A ,2013-01-09

[10]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

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