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半导体集成光学器件以及制造半导体集成光学器件的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010264863.5
申请日：
2020-04-07
公开(公告)号：
CN111817131A
公开(公告)日：
2020-10-23
发明(设计)人：
平谷拓生
申请人：
申请人地址：
日本大阪府大阪市
IPC主分类号：
H01S510
IPC分类号：
H01S5343
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人：
王伟;高伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-23 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/10 申请日:20200407 |