半导体压力传感器以及半导体压力传感器的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210207074.3

申请日：

2012-06-21

公开(公告)号：

CN103091007B

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

吉川英治出尾晋一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01L122

IPC分类号：

H01L2984

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

张鑫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468536842 IPC(主分类):G01L 1/22 专利申请号:2012102070743 申请日:20120621
2015-04-01	授权	授权
2013-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体压力传感器、压力传感器装置、电子设备以及半导体压力传感器的制造方法 [P].

山田宣幸 ;

樱木正广 ;

吉田武司 ;

林启 .

中国专利 :CN102472678B ,2012-05-23

[2]

半导体压力传感器 [P].

温明生 .

中国专利 :CN2136466Y ,1993-06-16

[3]

半导体压力传感器 [P].

鲁相洙 ;

李应颜 ;

柳成昊 ;

金廷柱 ;

金景勋 .

中国专利 :CN110352505A ,2019-10-18

[4]

半导体压力传感器 [P].

佐藤公敏 .

中国专利 :CN107449538B ,2017-12-08

[5]

半导体压力传感器 [P].

吉川英治 ;

出尾晋一 .

中国专利 :CN102243125B ,2011-11-16

[6]

半导体压力传感器 [P].

黑泽美津男 .

中国专利 :CN300744345D ,2008-02-13

[7]

半导体压力传感器 [P].

武田次郎 ;

市川范男 ;

鹤冈一广 .

中国专利 :CN85105726A ,1987-03-04

[8]

半导体压力传感器 [P].

黑泽美津男 .

中国专利 :CN300735491D ,2008-01-23

[9]

半导体压力传感器 [P].

若杉信嘉 ;

德原实 ;

堀场启二 .

中国专利 :CN1536343A ,2004-10-13

[10]

半导体压力传感器 [P].

杨健生 .

中国专利 :CN100449815C ,2005-01-26

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