一种用于化学机械研磨的抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810041771.X

申请日：

2008-08-15

公开(公告)号：

CN101649162A

公开(公告)日：

2010-02-17

发明(设计)人：

杨春晓王晨徐春

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C09G118 H01L21304

代理机构：

上海翰鸿律师事务所

代理人：

李佳铭

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101343328115 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:200810041771X 公开日:20100217
2010-02-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于化学机械研磨的抛光液 [P].

王晨 ;

徐春 .

中国专利 :CN102112567A ,2011-06-29

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

宋伟红 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN102464947A ,2012-05-23

[3]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

何华峰 ;

王晨 ;

殷天亮 ;

许旭强 .

中国专利 :CN114686111A ,2022-07-01

[4]

一种用于钨化学机械抛光的抛光液 [P].

王晨 ;

徐春 .

中国专利 :CN102051126A ,2011-05-11

[5]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

史经深 ;

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN114686107A ,2022-07-01

[6]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

李星 ;

王晨 ;

史经深 .

中国专利 :CN114686109A ,2022-07-01

[7]

一种用于化学机械抛光的抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN116240550B ,2025-04-15

[8]

一种用于氧化镓的化学机械抛光液及抛光方法 [P].

张松源 ;

朱逸军 ;

刘江华 .

中国专利 :CN117720858A ,2024-03-19

[9]

一种用于相变材料GeSbTe的化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

徐志国 ;

潘忠才 ;

李燕军 .

中国专利 :CN108129991A ,2018-06-08

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102373013A ,2012-03-14

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