一种浅沟槽隔离结构的形成方法及浅沟槽隔离结构

被引：0

申请号：

CN202210730363.5

申请日：

2022-06-24

公开(公告)号：

CN115116934A

公开(公告)日：

2022-09-27

发明(设计)人：

尤康

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L2906

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

孙宝海

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-27	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的形成方法及浅沟槽隔离结构 [P].

居健 ;

陈爱军 .

中国专利 :CN111354675A ,2020-06-30

[2]

浅沟槽隔离的形成方法及浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

石磊 ;

张文广 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101197306A ,2008-06-11

[3]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[4]

形成浅沟槽隔离结构的方法及浅沟槽隔离结构 [P].

韩秋华 ;

陈海华 ;

张世谋 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101673701A ,2010-03-17

[5]

浅沟槽隔离结构及形成浅沟槽隔离结构的方法 [P].

陈建豪 ;

张世勋 ;

杨知一 ;

陈佳麟 ;

李资良 .

中国专利 :CN1779944A ,2006-05-31

[6]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

蔡毅 ;

倪立华 .

中国专利 :CN107799460A ,2018-03-13

[7]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

何永根 .

中国专利 :CN104425343A ,2015-03-18

[8]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

邓浩 ;

严琰 ;

杨军 ;

彭婷婷 .

中国专利 :CN106653675B ,2017-05-10

[9]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

刘明源 .

中国专利 :CN100483668C ,2008-03-12

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

李娜 ;

刘轩 ;

陈超 .

中国专利 :CN105097643B ,2015-11-25

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