光刻胶的去除方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910246311.5

申请日：

2009-11-25

公开(公告)号：

CN102073227A

公开(公告)日：

2011-05-25

发明(设计)人：

肖玉洁朱旋谢宝强杨兆宇

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101086501169 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2009102463115 申请日:20091125
2011-05-25	公开	公开
2013-02-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101514596587 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2009102463115 申请公布日:20110525

共 50 条

[1]

光刻胶的去除方法 [P].

杨峰 ;

谭宗良 .

中国专利 :CN102082089A ,2011-06-01

[2]

光刻胶去除方法 [P].

萧忠仁 ;

陈雅萍 ;

林建宏 ;

刘文斌 ;

陈志文 .

中国专利 :CN110716399A ,2020-01-21

[3]

光刻胶去除方法及光刻胶重制方法 [P].

邱靖尧 ;

谢玟茜 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110581065A ,2019-12-17

[4]

去除光刻胶残留的方法 [P].

韩秋华 ;

马擎天 .

中国专利 :CN101587833A ,2009-11-25

[5]

光刻胶的去除方法 [P].

高慧慧 ;

秦伟 ;

杨渝书 .

中国专利 :CN103646873A ,2014-03-19

[6]

光刻胶的去除方法 [P].

高腾飞 ;

荆泉 ;

孙建 ;

吕煜坤 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN102968003A ,2013-03-13

[7]

光刻胶的去除方法 [P].

刘佑铭 .

中国专利 :CN101354542A ,2009-01-28

[8]

光刻胶的去除方法和制造镶嵌结构的方法 [P].

邹晓东 .

中国专利 :CN101329519A ,2008-12-24

[9]

光刻胶的去除 [P].

大卫·W·明塞克 ;

梅利沙·K·拉思 ;

大卫·D·伯恩哈德 ;

托马斯·H·鲍姆 .

中国专利 :CN1739064A ,2006-02-22

[10]

光刻胶去除装置和去除光刻胶的方法 [P].

张凇铭 ;

惠世鹏 ;

刘效岩 .

中国专利 :CN111610698A ,2020-09-01

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