镍靶坯及靶材的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310624216.0

申请日：

2013-11-26

公开(公告)号：

CN104674170A

公开(公告)日：

2015-06-03

发明(设计)人：

姚力军相原俊夫大岩一彦潘杰王学泽张亚光

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22F110

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615753987 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2013106242160 申请日:20131126
2015-06-03	公开	公开
2018-03-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20150603

共 50 条

[21]

靶材及其处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

赵梓聿 .

中国专利 :CN107881474A ,2018-04-06

[22]

平面锂靶材组件的制造方法和设备 [P].

齐大志 ;

程滋平 ;

杨诚 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

吴春敢 ;

刘慧芳 ;

代春雨 .

中国专利 :CN111411329A ,2020-07-14

[23]

一种钨烧结靶材的制造方法 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

廣田二郎 ;

中村晃 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN112126903A ,2020-12-25

[24]

靶材及其形成方法、靶材组件及其形成方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN107686970A ,2018-02-13

[25]

一种磁控溅射用镍靶材的制备方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

普志辉 ;

杨海 ;

何云帅 ;

杨建明 ;

李治东 ;

许永刚 ;

黄通 .

中国专利 :CN117568765A ,2024-02-20

[26]

靶材与背板的焊接方法 [P].

潘杰 ;

姚力军 ;

王学泽 ;

周友平 .

中国专利 :CN102500909A ,2012-06-20

[27]

靶材溅射装置 [P].

秦文 .

中国专利 :CN110468380A ,2019-11-19

[28]

钼钛靶材的制备方法 [P].

赵娜娜 ;

任聪聪 ;

马梦凡 ;

姚特立 ;

刘和光 ;

钟黎声 ;

崔真 .

中国专利 :CN116377403B ,2024-02-02

[29]

钼靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN104342619A ,2015-02-11

[30]

靶材检测夹具 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

赵波 .

中国专利 :CN202793347U ,2013-03-13

← 1 2 3 4 5 →