镍靶坯及靶材的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310624216.0

申请日：

2013-11-26

公开(公告)号：

CN104674170A

公开(公告)日：

2015-06-03

发明(设计)人：

姚力军相原俊夫大岩一彦潘杰王学泽张亚光

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22F110

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615753987 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2013106242160 申请日:20131126
2015-06-03	公开	公开
2018-03-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20150603

共 50 条

[41]

ZnSn合金靶材及其制备方法 [P].

张玉玲 ;

甘志俭 .

中国专利 :CN113308672A ,2021-08-27

[42]

靶材溅射寿命的确定方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钟伟华 .

中国专利 :CN103572222B ,2014-02-12

[43]

钽、铌管状靶材生产方法 [P].

柴正伍 .

中国专利 :CN112593195A ,2021-04-02

[44]

长寿命的靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN107794501A ,2018-03-13

[45]

一种管状靶材的绑定方法 [P].

盖伟 ;

古建国 ;

尹凯 ;

张立新 .

中国专利 :CN113025974A ,2021-06-25

[46]

靶材的包装方法和包装工具 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

阮力超 .

中国专利 :CN109018702B ,2018-12-18

[47]

钛靶材的溅射表面加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN105755435A ,2016-07-13

[48]

一种靶材的校平方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

宋阳阳 ;

周鹏飞 ;

吴东青 .

中国专利 :CN116516305B ,2025-04-22

[49]

一种钨合金靶材及其制备方法 [P].

崔明培 ;

王家生 ;

任山 ;

朱湘平 .

中国专利 :CN102139371A ,2011-08-03

[50]

靶材的铜合金背板的制作方法 [P].

姚力军 ;

周友平 ;

边逸军 ;

庞学功 ;

杨慧珍 .

中国专利 :CN111424244A ,2020-07-17

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