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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-07-06 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735297265 IPC(主分类):H01L 21/58 专利号:ZL201410076963X 变更事项:专利权人 变更前:广州市明森机电设备有限公司 变更后:广州明森科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:510640 广东省广州市天河区长湴白沙水路87号1楼、2楼 变更后:510000 广东省广州市天河区广汕一路500号组培楼(3)栋 |
| 2016-06-01 | 授权 | 授权 |
| 2014-06-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583073568 IPC(主分类):H01L 21/58 专利申请号:201410076963X 申请日:20140304 |
| 2014-05-21 | 公开 | 公开 |