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一种晶圆传输装置用定位工装
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122116026.0
申请日：
2021-09-02
公开(公告)号：
CN215578478U
公开(公告)日：
2022-01-18
发明(设计)人：
唐正隆
王正辉
吴星华
储长流
张立
申请人：
申请人地址：
230093 安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2168
代理机构：
北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818
代理人：
刘岩
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-18 | 授权 | 授权 |