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一种晶圆传输装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023343548.6
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN214797338U
公开(公告)日：
2021-11-19
发明(设计)人：
张晖
申请人：
申请人地址：
226000 江苏省南通市经济技术开发区中央路62号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-19 | 授权 | 授权 |