一种晶圆传输装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023343548.6

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN214797338U

公开(公告)日：

2021-11-19

发明(设计)人：

张晖

申请人：

申请人地址：

226000 江苏省南通市经济技术开发区中央路62号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	授权	授权

共 50 条

[21]

一种半导体晶圆传输装置 [P].

刘恩龙 ;

杨琦 ;

张贤龙 ;

中岛隆志 ;

川辺哲也 ;

张加峰 ;

曹洁 ;

张菊 ;

董怀宝 ;

马刚 ;

董阳 ;

李莹莹 ;

乐佳浩 .

中国专利 :CN216213326U ,2022-04-05

[22]

一种晶圆传输装置 [P].

吴春 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

张胜森 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117410213B ,2024-03-22

[23]

一种晶圆传输装置 [P].

罗银夫 ;

刘二壮 ;

黄允文 ;

刘枫 ;

刘涛 ;

蔡斌 .

中国专利 :CN114597149A ,2022-06-07

[24]

一种晶圆传输装置 [P].

蔡斌 ;

刘二壮 ;

刘涛 ;

刘枫 ;

黄允文 .

中国专利 :CN114678310A ,2022-06-28

[25]

一种晶圆传输装置 [P].

谷康康 .

中国专利 :CN120413497A ,2025-08-01

[26]

一种晶圆传输装置 [P].

许志雄 .

中国专利 :CN111834270A ,2020-10-27

[27]

一种晶圆传输装置 [P].

谷康康 .

中国专利 :CN120413497B ,2025-11-14

[28]

一种晶圆传输装置 [P].

王世举 ;

何超 .

中国专利 :CN120413491A ,2025-08-01

[29]

一种晶圆传输装置 [P].

吴春 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

张胜森 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117410213A ,2024-01-16

[30]

一种晶圆传输装置 [P].

倪萌 ;

陈垒 ;

周倾貌 ;

秦承伟 ;

吴沃祖 .

中国专利 :CN222421923U ,2025-01-28

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