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集成电路测试装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN02157159.7
申请日：
2002-12-17
公开(公告)号：
CN1508859A
公开(公告)日：
2004-06-30
发明(设计)人：
庄海峰
申请人：
申请人地址：
中国台湾
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
G01R3128
代理机构：
永新专利商标代理有限公司
代理人：
刘兴鹏
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-07-12 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 2004-09-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2004-06-30 | 公开 | 公开 |