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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-08 | 公开 | 公开 |
| 2020-10-16 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/0304 变更事项:发明人 变更前:杨晓杰 刘永峰 张传杰 谭必松 周文洪 黄立 变更后:杨晓杰 刘永锋 张传杰 谭必松 周文洪 黄立 |
| 2018-07-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0304 申请日:20171102 |
| 2020-04-28 | 授权 | 授权 |
| 2022-12-09 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/0304 变更事项:发明人 变更前:杨晓杰 刘永锋 张传杰 谭必松 周文洪 黄立 变更后:黄立 杨晓杰 刘永锋 张传杰 谭必松 周文洪 |