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蒸馏装置及半导体清洗设备
被引:0
申请号
:
CN202222043992.9
申请日
:
2022-08-04
公开(公告)号
:
CN217847893U
公开(公告)日
:
2022-11-18
发明(设计)人
:
杨卓
申请人
:
申请人地址
:
101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
IPC主分类号
:
H01L2167
IPC分类号
:
B01D300
代理机构
:
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
:
彭瑞欣;王婷
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-11-18
授权
授权
共 50 条
[1]
半导体清洗槽及半导体清洗设备
[P].
梁家齐
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
梁家齐
;
赵宏宇
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵宏宇
.
中国专利
:CN220970269U
,2024-05-17
[2]
半导体清洗护罩装置及半导体清洗设备
[P].
郭加龙
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机构:
深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司
深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司
郭加龙
;
宁卫龙
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机构:
深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司
深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司
宁卫龙
.
中国专利
:CN121103748A
,2025-12-12
[3]
半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备
[P].
左国军
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左国军
;
邱瑞
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邱瑞
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成旭
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成旭
;
李雄朋
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李雄朋
;
陈雷
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陈雷
;
谈丽文
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谈丽文
;
申斌
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申斌
.
中国专利
:CN215988678U
,2022-03-08
[4]
半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备
[P].
崔凯
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机构:
昕原半导体(上海)有限公司
昕原半导体(上海)有限公司
崔凯
;
乔夫龙
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机构:
昕原半导体(上海)有限公司
昕原半导体(上海)有限公司
乔夫龙
;
赵刘明
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机构:
昕原半导体(上海)有限公司
昕原半导体(上海)有限公司
赵刘明
;
张适杰
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机构:
昕原半导体(上海)有限公司
昕原半导体(上海)有限公司
张适杰
.
中国专利
:CN223390499U
,2025-09-26
[5]
半导体清洗设备及半导体清洗方法
[P].
左国军
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机构:
常州捷佳创精密机械有限公司
常州捷佳创精密机械有限公司
左国军
;
范生刚
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机构:
常州捷佳创精密机械有限公司
常州捷佳创精密机械有限公司
范生刚
;
马文毕
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机构:
常州捷佳创精密机械有限公司
常州捷佳创精密机械有限公司
马文毕
;
王祥祥
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常州捷佳创精密机械有限公司
常州捷佳创精密机械有限公司
王祥祥
.
中国专利
:CN118431113A
,2024-08-02
[6]
半导体清洗单元和半导体清洗设备
[P].
左国军
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左国军
;
邱瑞
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邱瑞
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成旭
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成旭
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李雄朋
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李雄朋
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陈雷
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陈雷
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谈丽文
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谈丽文
;
申斌
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申斌
.
中国专利
:CN215988677U
,2022-03-08
[7]
半导体清洗设备
[P].
朴英植
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机构:
成都高真科技有限公司
成都高真科技有限公司
朴英植
.
中国专利
:CN222856123U
,2025-05-13
[8]
半导体清洗设备
[P].
王宝生
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王宝生
;
唐斌
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唐斌
.
中国专利
:CN217289621U
,2022-08-26
[9]
半导体清洗设备
[P].
朴灵绪
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朴灵绪
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吴镐硕
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吴镐硕
;
张怀东
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张怀东
.
中国专利
:CN218004783U
,2022-12-09
[10]
半导体清洗设备
[P].
孙建涵
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
孙建涵
;
陈超
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北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
陈超
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中国专利
:CN222530377U
,2025-02-25
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