浅沟槽隔离的工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410359893.9

申请日：

2014-07-25

公开(公告)号：

CN104078409A

公开(公告)日：

2014-10-01

发明(设计)人：

鲍宇

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2176

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587985372 IPC(主分类):H01L 21/76 专利申请号:2014103598939 申请日:20140725
2017-08-22	授权	授权
2014-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离工艺 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104078412A ,2014-10-01

[2]

形成浅沟槽隔离结构的方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104091779B ,2014-10-08

[3]

形成浅沟槽隔离结构的方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104157601A ,2014-11-19

[4]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104103569A ,2014-10-15

[5]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104078411A ,2014-10-01

[6]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[7]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

刘石香 .

中国专利 :CN101312147A ,2008-11-26

[8]

浅沟槽隔离的制造方法 [P].

郭得亮 .

中国专利 :CN101330037A ,2008-12-24

[9]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张翼英 .

中国专利 :CN103811403B ,2014-05-21

[10]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

黄鹏 ;

李俊 .

中国专利 :CN106684030A ,2017-05-17

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