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一种半导体生产用镀膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011314145.0
申请日：
2020-11-21
公开(公告)号：
CN112410730B
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
谭美龙
申请人：
申请人地址：
321000 浙江省金华市义乌市江东街道通宝路205号2号地块6号楼6楼（自主申报）
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
广东灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558
代理人：
陈丹萍
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20201121 |
| 2022-11-18 | 授权 | 授权 |
| 2021-02-26 | 公开 | 公开 |
| 2022-11-11 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/22 登记生效日:20221031 变更事项:申请人 变更前权利人:广州市铂江光电有限公司 变更后权利人:浙江曜创科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:510000 广东省广州市花都区花城街大华村大华大街28号二幢二楼之一 变更后权利人:321000 浙江省金华市义乌市江东街道通宝路205号2号地块6号楼6楼（自主申报） |