栅极及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810113660.5

申请日：

2008-05-29

公开(公告)号：

CN101593683A

公开(公告)日：

2009-12-02

发明(设计)人：

居建华

申请人：

申请人地址：

100176北京市北京经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21265 H01L21336 H01L2949 H01L2978

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

李丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-23	授权	授权
2010-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

栅极电极及其形成方法 [P].

向阳辉 ;

荆学珍 .

中国专利 :CN101211768A ,2008-07-02

[2]

栅极形成方法 [P].

张海洋 ;

赵林林 ;

黄怡 ;

陈海华 .

中国专利 :CN101593685B ,2009-12-02

[3]

栅极及其形成方法 [P].

吴永坚 ;

甘正浩 ;

廖金昌 .

中国专利 :CN101593770A ,2009-12-02

[4]

栅极侧墙及其形成方法 [P].

郭振强 .

中国专利 :CN108389897B ,2018-08-10

[5]

栅极的形成方法 [P].

张海洋 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN102956461A ,2013-03-06

[6]

金属栅极形成方法 [P].

鲍宇 ;

平延磊 ;

肖海波 .

中国专利 :CN103117213B ,2013-05-22

[7]

金属栅极形成方法 [P].

郑春生 .

中国专利 :CN102810467A ,2012-12-05

[8]

栅极结构及其形成方法 [P].

三重野文健 .

中国专利 :CN104183475B ,2014-12-03

[9]

栅极形成方法 [P].

韩秋华 ;

杜珊珊 ;

张文广 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101459067B ,2009-06-17

[10]

栅极形成方法 [P].

陈华伦 ;

陈雄斌 ;

陈瑜 ;

熊涛 ;

罗啸 .

中国专利 :CN101740362A ,2010-06-16

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