金属栅极形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110363056.X

申请日：

2011-11-16

公开(公告)号：

CN103117213B

公开(公告)日：

2013-05-22

发明(设计)人：

鲍宇平延磊肖海波

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21283

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-07	授权	授权
2013-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101475929297 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:201110363056X 申请日:20111116
2013-05-22	公开	公开

共 50 条

[1]

金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN102543702A ,2012-07-04

[2]

金属栅极形成方法 [P].

郑春生 .

中国专利 :CN102810467A ,2012-12-05

[3]

金属栅极形成方法 [P].

张世亿 ;

宣俊协 ;

崔亨福 .

中国专利 :CN1324654C ,2002-05-15

[4]

金属栅极形成方法 [P].

郑春生 ;

杨瑞鹏 .

中国专利 :CN101593686B ,2009-12-02

[5]

铝金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102543700A ,2012-07-04

[6]

金属栅极的形成方法 [P].

陈枫 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN102637586A ,2012-08-15

[7]

金属栅极的形成方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN102386081B ,2012-03-21

[8]

金属栅极的形成方法 [P].

何其旸 .

中国专利 :CN103107075A ,2013-05-15

[9]

金属栅极的形成方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN103794482A ,2014-05-14

[10]

金属栅极器件形成方法 [P].

雷通 ;

易海兰 ;

丁弋 .

中国专利 :CN105321884A ,2016-02-10

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