栅极形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810113694.4

申请日：

2008-05-29

公开(公告)号：

CN101593685B

公开(公告)日：

2009-12-02

发明(设计)人：

张海洋赵林林黄怡陈海华

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21308 H01L21336

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-04	授权	授权
2009-12-02	公开	公开
2010-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

栅极的形成方法 [P].

张海洋 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN102956461A ,2013-03-06

[2]

金属栅极形成方法 [P].

鲍宇 ;

平延磊 ;

肖海波 .

中国专利 :CN103117213B ,2013-05-22

[3]

栅极及其形成方法 [P].

居建华 .

中国专利 :CN101593683A ,2009-12-02

[4]

金属栅极形成方法 [P].

郑春生 .

中国专利 :CN102810467A ,2012-12-05

[5]

栅极形成方法 [P].

韩秋华 ;

杜珊珊 ;

张文广 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101459067B ,2009-06-17

[6]

栅极形成方法 [P].

陈华伦 ;

陈雄斌 ;

陈瑜 ;

熊涛 ;

罗啸 .

中国专利 :CN101740362A ,2010-06-16

[7]

栅极结构形成方法 [P].

罗飞 ;

邹立 .

中国专利 :CN102024691B ,2011-04-20

[8]

栅极电极及其形成方法 [P].

向阳辉 ;

荆学珍 .

中国专利 :CN101211768A ,2008-07-02

[9]

栅极结构形成方法 [P].

任晓辉 ;

奚裴 ;

齐龙茵 .

中国专利 :CN102148146A ,2011-08-10

[10]

栅极的形成方法 [P].

徐莹 ;

周飞 ;

周维 ;

魏峥颖 .

中国专利 :CN103311113A ,2013-09-18

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