栅极电极及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610147870.7

申请日：

2006-12-25

公开(公告)号：

CN101211768A

公开(公告)日：

2008-07-02

发明(设计)人：

向阳辉荆学珍

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21336

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-22	授权	授权
2008-08-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-02	公开	公开
2019-12-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20061225 授权公告日:20101222 终止日期:20181225

共 50 条

[1]

栅极及其形成方法 [P].

居建华 .

中国专利 :CN101593683A ,2009-12-02

[2]

栅极的形成方法 [P].

徐莹 ;

周飞 ;

周维 ;

魏峥颖 .

中国专利 :CN103311113A ,2013-09-18

[3]

栅极的形成方法 [P].

王新鹏 .

中国专利 :CN104103505B ,2014-10-15

[4]

栅电极及其形成方法 [P].

崔在成 .

中国专利 :CN1172378C ,1997-07-23

[5]

金属栅极及其形成方法 [P].

韩秋华 ;

涂武涛 ;

徐柯 .

中国专利 :CN111211045A ,2020-05-29

[6]

抛光方法以及栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102800580A ,2012-11-28

[7]

栅极形成方法 [P].

韩秋华 ;

杜珊珊 ;

张文广 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101459067B ,2009-06-17

[8]

栅极形成方法 [P].

张海洋 ;

赵林林 ;

黄怡 ;

陈海华 .

中国专利 :CN101593685B ,2009-12-02

[9]

栅极及其形成方法 [P].

吴永坚 ;

甘正浩 ;

廖金昌 .

中国专利 :CN101593770A ,2009-12-02

[10]

金属栅极的形成方法 [P].

何其旸 .

中国专利 :CN103107075A ,2013-05-15

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