用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510974331.X
申请日
2015-12-23
公开(公告)号
CN105525344A
公开(公告)日
2016-04-27
发明(设计)人
唐永炳 牛卉卉 朱雨
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
IPC主分类号
C30B2904
IPC分类号
C30B2512 C30B2520
代理机构
深圳中一专利商标事务所 44237
代理人
张全文
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘 [P]. 
史玉芬 ;
周学芹 ;
刘小利 .
中国专利 :CN204281889U ,2015-04-22
[2]
单晶金刚石外延生长方法、单晶金刚石及其片状籽晶 [P]. 
张军安 .
中国专利 :CN112048760A ,2020-12-08
[3]
基于Ⅱa型天然金刚石的同质外延生长单晶金刚石的方法 [P]. 
周焱文 .
中国专利 :CN107557858A ,2018-01-09
[4]
制备单晶金刚石用基片台、单晶金刚石的制备方法 [P]. 
马晨阳 ;
朱肖华 ;
张春林 ;
方海江 .
中国专利 :CN119020855A ,2024-11-26
[5]
金刚石单晶同质内延修复以及同质外延生长的方法 [P]. 
宋建华 .
中国专利 :CN101696515A ,2010-04-21
[6]
金刚石基台及其制作方式 [P]. 
李高金 ;
李明君 ;
李志博 ;
吕申申 .
中国专利 :CN118792734A ,2024-10-18
[7]
一种天然金刚石同质外延生长单晶金刚石的方法 [P]. 
周焱文 .
中国专利 :CN112899774A ,2021-06-04
[8]
一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法 [P]. 
朱嘉琦 ;
舒国阳 ;
代兵 ;
韩杰才 ;
陈亚男 ;
杨磊 ;
王强 ;
王杨 ;
刘康 ;
赵继文 ;
孙明琪 .
中国专利 :CN104878447B ,2015-09-02
[9]
一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法 [P]. 
朱嘉琦 ;
舒国阳 ;
代兵 ;
杨磊 ;
王强 ;
王杨 ;
陈亚男 ;
赵继文 ;
刘康 ;
孙明琪 ;
韩杰才 .
中国专利 :CN104972189B ,2015-10-14
[10]
金刚石/硅复合衬底及其制法、金刚石基硅芯片的制造方法 [P]. 
胡荣昕 ;
张星 .
中国专利 :CN118835315A ,2024-10-25