晶片薄化装置以及晶片处理系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710108704.0
申请日
2007-05-28
公开(公告)号
CN101083205A
公开(公告)日
2007-12-05
发明(设计)人
广江敏朗 新居健一郎
申请人
申请人地址
日本京都府京都市
IPC主分类号
H01L2100
IPC分类号
H01L21306 H01L2167 H01L21677
代理机构
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人
徐恕
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
晶片传送装置以及晶片处理系统 [P]. 
陈建志 ;
李仁铎 ;
余瑶民 ;
李青岭 .
中国专利 :CN109461693A ,2019-03-12
[2]
晶片处理方法以及晶片处理系统 [P]. 
王赫 ;
藤崎耕司 ;
大隈一畅 ;
桑原谦一 .
日本专利 :CN119452456A ,2025-02-14
[3]
晶片处理系统 [P]. 
A·纳吉 ;
K·马丁 .
英国专利 :CN112509959B ,2025-03-04
[4]
晶片处理系统 [P]. 
A·纳吉 ;
K·马丁 .
中国专利 :CN112509959A ,2021-03-16
[5]
晶片处理系统和晶片处理方法 [P]. 
宗令蓓 ;
夏威 .
中国专利 :CN102569011A ,2012-07-11
[6]
晶片处理系统 [P]. 
关家一马 .
中国专利 :CN105895569B ,2016-08-24
[7]
晶片处理系统 [P]. 
孙昞澈 .
中国专利 :CN204819125U ,2015-12-02
[8]
晶片对准组件和晶片处理系统 [P]. 
塔玛·卡姆 ;
本尼·希洛 .
中国专利 :CN209298091U ,2019-08-23
[9]
晶片处理系统及制造晶片的方法 [P]. 
凯文·P·费尔贝恩 ;
哈里·蓬内坎蒂 ;
克里斯托弗·莱恩 ;
罗伯特·爱德华·韦斯 ;
伊恩·拉奇福特 ;
特里·布卢克 .
中国专利 :CN101208454A ,2008-06-25
[10]
晶片处理方法、辅助控制器和晶片处理系统 [P]. 
王晶 .
中国专利 :CN110828311B ,2024-04-16